样品预处理系统的操作原理和使用流程说明

 

　　样品预处理系统的操作原理：

　　由特殊高分子材料制成的过滤膜A和过滤膜B，被安放在同一个不锈钢容器中，并被直接浸入到采样水中。过滤膜A和过滤膜B由各自的样品吸入传输管，与控制器中的蠕动泵A和蠕动泵B相连。

 

　　两个蠕动泵轮流交替工作；在某一蠕动泵工作期间，样品经过相应滤膜的过滤，被抽提到控制器中，进而被传输到后续的水质在线分析仪中。

 

　　在系统的整个工作过程中，控制器内部的空气压缩机连续不断的工作，产生的压缩空气经过两根空气传输管，被传送到每个滤膜底部的排气孔处；在其中一个蠕动泵停止工作期间，吸附在相应滤膜表面上的悬浮颗粒，从滤膜表面上被清除掉。从而保证可以连续不断的工作。

 

　　样品预处理系统的使用流程：

　　启动真空泵使腔体内达到设定真空值，待腔内真空度达到某一高真空后，开始冲入氮气，然后再进行真空操作，再次充入氮气，经过反复真空充氮，可提高箱体内洁净度，开始保持一段时间，使硅片充分受热，减少硅片表面的水分，然后再次开始抽真空，冲入HMDS气体，在达到设定时间后停止充入，进入保持阶段，使硅片充分与HMDS反应。当保持时间达到设定值后，再次开始抽真空，冲入氮气，完成整个作业过程。